至純科技——一家用20年發(fā)展踐行“科技報(bào)國(guó)”的創(chuàng)新企業(yè)

5月12日下午，“百年榮光 再啟新程”閔行區(qū)慶祝中華全國(guó)總工會(huì)、上海總工會(huì)成立100周年暨模范集體、勞動(dòng)模范和先進(jìn)工作者表彰大會(huì)隆重舉行。在現(xiàn)場(chǎng)，全國(guó)工業(yè)和信息化系統(tǒng)勞動(dòng)模范、上海市勞動(dòng)模范代表之一，上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司董事長(zhǎng)蔣淵女士上臺(tái)分享了自己的創(chuàng)業(yè)經(jīng)歷和體會(huì)。作為民營(yíng)高科技上市企業(yè)帶頭人，蔣淵女士始終踐行科技報(bào)國(guó)、產(chǎn)業(yè)報(bào)國(guó)的初心和使命。

回顧20年前，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)面臨多重困境，蔣淵女士創(chuàng)立至純科技，從最開始的高純工藝系統(tǒng)出發(fā)，逐步向核心設(shè)備、電子材料等同能力圈的不同領(lǐng)域拓展。2017年上市后，堅(jiān)定“自主可控”路徑，研發(fā)團(tuán)隊(duì)攻堅(jiān)克難，研制出高溫硫酸、單片磷酸等系列單片式機(jī)型，技術(shù)水平達(dá)國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際先進(jìn)，部分工藝機(jī)臺(tái)填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)濕法裝備的空白。

作為國(guó)產(chǎn)高純工藝系統(tǒng)領(lǐng)軍者，至純科技自主研發(fā)的前驅(qū)體設(shè)備、研磨液設(shè)備等核心支持性設(shè)備累計(jì)交付量達(dá)3.6萬臺(tái)，2024年單年出貨量更是破了10,000臺(tái)大關(guān)。憑借48.8%的12英寸晶圓廠特氣設(shè)備市占率，至純科技徹底改寫此前美日法德及臺(tái)企的壟斷格局。公司的配套系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)ppt級(jí)不純物控制，多項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)超越國(guó)際競(jìng)品。

依托在氣體純化領(lǐng)域25年技術(shù)積累，公司已建成國(guó)內(nèi)首座完全國(guó)產(chǎn)化的28納米制程12英寸晶圓廠大宗氣站，并實(shí)現(xiàn)連續(xù)36個(gè)月穩(wěn)定運(yùn)行。2024年，投運(yùn)的第二座氣站已進(jìn)入運(yùn)營(yíng)階段，后續(xù)預(yù)計(jì)每年貢獻(xiàn)數(shù)億元營(yíng)收，為公司提供長(zhǎng)期穩(wěn)定的現(xiàn)金流。配合TGM駐廠服務(wù)、腔體部件再生等增值業(yè)務(wù)，公司正形成覆蓋晶圓廠全生命周期的服務(wù)矩陣。

從起步時(shí)的7人團(tuán)隊(duì)，到如今累計(jì)申請(qǐng)專利達(dá)867項(xiàng)的高新技術(shù)企業(yè)集團(tuán)，至純科技用二十年時(shí)間詮釋了"中國(guó)智造"的韌性與活力。在發(fā)展進(jìn)程中，至純科技還勇?lián)a(chǎn)業(yè)鏈“鏈主”之責(zé)，攜手四五十家上下游企業(yè)構(gòu)建產(chǎn)業(yè)集群，全力推進(jìn)國(guó)產(chǎn)化替代，目前已基本實(shí)現(xiàn)自主可控，具備持續(xù)為產(chǎn)業(yè)用戶提供高質(zhì)量服務(wù)的能力。盡管前期投入巨大，但這份未雨綢繆在去年12月以來的國(guó)際經(jīng)濟(jì)環(huán)境變化中彰顯成效。

立足"十四五"自主可控攻堅(jiān)期，至純科技正以"關(guān)注核心工藝，服務(wù)關(guān)鍵制程"為使命，向著"成為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體工藝裝備、工藝系統(tǒng)及材料提供商"的目標(biāo)穩(wěn)步邁進(jìn)，將繼續(xù)以技術(shù)創(chuàng)新為矛、以產(chǎn)業(yè)協(xié)同為盾，在全球半導(dǎo)體競(jìng)爭(zhēng)的浪潮中，開辟出一條自主可控的發(fā)展之路。

關(guān)鍵詞：